截至10月23日10:38，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)下跌0.45%。成分股方面漲跌互現(xiàn)，拓荊科技領漲3.88%，新益昌上漲3.21%，盛美上海上漲1.5%；神工股份領跌5.82%，晶升股份下跌3.11%，華海誠科下跌3.02%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）下跌0.51%。

流動性方面，科創(chuàng)半導體ETF（588170）盤中換手4.44%，成交1.68億元。拉長時間看，截至10月22日，科創(chuàng)半導體ETF（588170）近1月日均成交7.11億元，領先同類。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF（588170）最新規(guī)模達38.14億元，創(chuàng)成立以來新高。

相關ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備和材料行業(yè)是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356；C類：020357），指數(shù)中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。