截至2025年10月15日 10點10分，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)下跌0.88%。成分股方面漲跌互現(xiàn)，和林微納領漲2.35%，拓荊科技上漲1.79%，安集科技上漲1.48%；富創(chuàng)精密領跌5.63%，中科飛測下跌5.62%，滬硅產(chǎn)業(yè)下跌2.59%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）下跌0.96%。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF最新規(guī)模達33.11億元，創(chuàng)成立以來新高，領先同類。從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近3天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得4.83億元凈流入，合計“吸金”7.14億元，日均凈流入達2.38億元。

流動性方面，科創(chuàng)半導體ETF盤中換手10.4%，成交3.41億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至10月14日，科創(chuàng)半導體ETF近1周日均成交9.53億元，領先同類。

相關ETF：公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。